硼11-三氟化硼
產品介紹 Product introduction?
????????常溫常壓下三氯化硼11（B11Cl3）為無色發煙氣體，可燃，有刺激性、酸性氣味，遇水分解生成氯化氫和硼酸，并放出大量熱量，在濕空氣中因水解而生成煙霧，在醇中分解為鹽酸和硼酸酯。三氯化硼11反應能力較強，能形成多種配位化合物，三氯化硼加熱能和玻璃、陶瓷起反應，也能和許多有機物反應形成各種有機硼化合物。高純三氯化硼11主要用于（硅）半導體器件制造工藝中的擴散摻雜，在高溫下，經過分解生成硼雜質向硅中擴散，形成P型半導體，也可用于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、WSi等材料的干法蝕刻。
產品指標 Quality specification
?
?
項目Items |
單位Units |
指標Index |
三氯化硼11 Boron11 Trichloride≥ |
Vol.% |
99.9995 |
氧+氬Oxygen+Argon< |
Vol.ppm |
1 |
氮Nitrogen< |
Vol.ppm |
4 |
一氧化碳Carbon monoxide< |
Vol.ppm |
0.5 |
二氧化碳Carbon dioxide< |
Vol.ppm |
0.2 |
甲烷Methane < |
Vol.ppm |
0.5 |
總雜質含量Total impurity content≤ |
Vol.ppm |
5 |
金屬離子Metal ion |
Vol.ppm |
供需雙方商定 |
?
產品用途?
????????高純三氯化硼11主要用于半導體器件和集成電路制造中擴散摻雜、離子注入、干法蝕刻等工藝。三氯化硼11也可用以制造高純硼、有機合成用催化劑、硅酸鹽分解時的助熔劑，在合金精制中作為除氧劑、氮化物和碳化物的添加劑。
?