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聚焦于高純氣體，穩定同位素，金屬化合物和高純化學品等化工新材料的供應和銷售
Boron Trichloride - 三氯化硼 - ( BCL3 ）
wechem三氯化硼MSDS.pdf 資料下載三氯化硼是一種無色，有腐蝕性，不可燃的毒氣，帶有刺激性，刺鼻的氣味，在潮濕的空氣中形成致密的煙霧。三氯化硼能刺激粘膜。在潮濕的空氣中水解，形成氯化氫。在其蒸汽壓力下作為液化性氣體運輸。
| 規格 | ||
| 純度 , % | 99.9 | 99.999 |
| 自由氯氣 | ≤100 ppmw | |
| 光氣 | ≤100 ppmw | |
| 氧氣 | ≤1.0 ppmv | |
| 氮氣 | ≤1.0 ppmv | |
| 二氧化碳 | ≤1.0 ppmv | |
| 一氧化碳 | ≤1.0 ppmv | |
| 水分 | ||
| 運輸 | ||
| DOT 運輸名稱 | 三氯化硼? | |
| DOT 分類 | 2.3 | |
| DOT 標簽 | 毒氣/呼吸危害，腐蝕 | |
| UN NO. | UN1741 | |
| CAS No. | 10294-34-5 | |
| CGA/DISS/JIS | 660/634/W22-14L | |
| 運輸狀態 | 液化性氣體 | |
| 技術信息 | ||
| 鋼瓶狀況 @ 21.1°C? | 液體 | |
| 在空氣中的燃燒極限 | 不可燃 | |
| 自然溫度 (°C ) | - | |
| 分子量 (g/mol) | 117.17 | |
| 比重 ( 空氣 =1) | 4.04 | |
| 臨界溫度 ( °C ) | 178.8 | |
| 臨界溫度 ( psig ) | 546.6 | |
| 應用 | ||
| 1. 在半導體制造中，三氯化硼是用于在硅片上的P型擴散。 2. 離子注入。 3. 金屬等離子體蝕刻。 4. 在各種化學反應。 | ||