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聚焦于高純氣體，穩定同位素，金屬化合物和高純化學品等化工新材料的供應和銷售
Dichlorosilane - 二氯二氫硅 - ( SiH2CL2, DCS )
二氯硅烷_WECHEM_SH_MSDS.pdf 資料下載二氯二氫硅 是劇毒，無色，易燃，液化性氣體，具有強烈的刺激性氣味。與水接觸水解形成鹽酸。在其自身蒸汽壓力下作為液化性氣體運輸。
| 規格 | ||
| 純度，% | 99 | 99.9 |
| 典型的電阻率 | ≥ 200 ohm-cm | ≥ 400 ohm-cm |
| 一氯甲硅烷 | ≤ 0.2% | ≤ 100 pm |
| 三氯硅烷 | ≤ 0.5% | ≤ 200 pm |
| 四氯化硅 | ≤ 0.1% | ≤ 100 pm |
| 其他氯硅烷 | ≤ 1 wt % | ≤ 500 pm |
| 運輸 | ||
| DOT 運輸名稱 | 毒物吸入危害 | |
| DOT 分類 | 2.3 | |
| DOT 標簽 | 毒氣，不可燃 | |
| UN NO. | UN 2189 | |
| CAS No. | 4109-96-0 | |
| CGA/DISS/JIS | 678/636/W22-14L | |
| 運輸狀態 | 液化性氣體 | |
| 技術信息 | ||
| 鋼瓶狀況 @ 21.1°C? | 液體 | |
| 在空氣中的燃燒極限 | 4.1-98.8% | |
| 自然溫度 (°C ) | 100 | |
| 分子量 (g/mol) | 101.01 | |
| 比重 ( 空氣 =1) | 3.47 | |
| 臨界溫度 ( °C ) | 175.85 | |
| 臨界溫度 ( psig ) | 678.2 | |
| 應用 | ||
| 1. 是在化學氣相沉積（CVD ) 工程中和氨（ NH3 ) 一起作為硅前驅物 （ Silicon Precursor? ) 的原料。 2. 用于硅結晶體 （ Silicon Epitaxial ) 的沉積工藝中。 | ||