業(yè)務(wù)領(lǐng)域
聚焦于高純氣體，穩(wěn)定同位素，金屬化合物和高純化學(xué)品等化工新材料的供應(yīng)和銷售
Halocarbon 14 - Tetrafluoromethane - 四氟化碳 - ( CF4 )
CF4_WECHEM_SH_MSDS.pdf 資料下載四氟化碳是一種無色，相對無毒，不燃，具有輕微醚樣氣味的氣體。作為一種壓縮氣體運(yùn)輸。?
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規(guī)格 |
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| 純度 , % | 99.9 | 99.999 |
| 氧氣 | ≤100 ppmv | ≤1.0 ppmv |
| 氮?dú)?/td> | ≤400 ppmv | ≤4.0 ppmv |
| 二氧化碳 | ≤80 ppmv | ≤0.5 ppmv |
| 一氧化碳 | ≤50 ppmv | ≤0.5 ppmv |
| 甲烷 | ≤50 ppmv | ≤0.5 ppmv |
| 氣體碳?xì)?/td> | ≤100 ppmv | ≤2.0 ppmv |
| 水分 | ≤10?? ppmv | ≤2.0?? ppmv |
| 六氟化硫 | ≤15 ppmv | ≤1.0 ppmv |
| 酸度 as HF | ≤1.0ppmv | ≤0.1ppmv |
| 運(yùn)輸 | ||
| DOT 運(yùn)輸名稱 | 四氟化碳，壓縮的 | |
| DOT 分類 | 2.2 | |
| DOT 標(biāo)簽 | 不可燃?xì)怏w | |
| UN NO. | UN1982 | |
| CAS No. | 75-73-0 | |
| CGA/DISS/JIS | 320/716/W22-14L | |
| 運(yùn)輸狀態(tài) | 壓縮性氣體 | |
| 技術(shù)信息 | ||
| 鋼瓶狀況 @ 21.1°C? | 氣體 | |
| 在空氣中的燃燒極限 | 不可燃 | |
| 自然溫度 (°C ) | 不可燃 | |
| 分子量 (g/mol) | 88.01 | |
| 比重 ( 空氣 =1) | 3.04 | |
| 臨界溫度 ( °C ) | -45.65 | |
| 臨界溫度 ( psig ) | 528.459 | |
| 應(yīng)用 | ||
| 四氟化碳是目前微電子工業(yè)用量最大的等離子蝕刻氣體，在電子器件表面清洗，太陽能電池的生產(chǎn)，激光技術(shù)，氣相絕緣低溫制冷，泄露檢驗(yàn)劑，印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。 | ||