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Halocarbon 23 - Trifluoromethane - 三氟甲烷 ( CHF3 )
三氟甲烷_WECHEM_SH_MSDS.pdf 資料下載三氟甲烷是一種無色，不燃的液化性氣體。在其自身蒸汽壓力下作為一種液化性氣體運輸。
| 規格 | ||
| 純度 , % | 99.9 | 99.999 |
| 氧氣 | ≤80 ppmv | ≤1.0 ppmv |
| 氮氣 | ≤300?ppmv | ≤4.0 ppmv |
| 二氧化碳 | ≤50 ppmv | ≤0.5 ppmv |
| 一氧化碳 | ≤30 ppmv | ≤0.5 ppmv |
| 甲烷 | ≤30 ppmv | ≤0.5 ppmv |
| 其他有機物 | ≤400ppmv | ≤2.0 ppmv |
| 水分 | ≤10.0 ppmv | ≤2.0 ppmv |
| 酸度 as HCL | ≤1.0 ppmv | ≤0.1 ppmv |
| 運輸 | ||
| DOT 運輸名稱 | 三氟甲烷 | |
| DOT 分類 | 2.2 | |
| DOT 標簽 | 不可燃氣體 | |
| UN NO. | UN 1984 | |
| CAS No. | 75-46-7 | |
| CGA/DISS/JIS | 660/716/W22-14L | |
| 運輸狀態 | 液化性氣體 | |
| 技術信息 | ||
| 鋼瓶狀況 @ 21.1°C? | 液體 | |
| 在空氣中的燃燒極限 | 不可燃 | |
| 自然溫度 (°C ) | 不可燃 | |
| 分子量 (g/mol) | 70 | |
| 比重 ( 空氣 =1) | 2.436 | |
| 臨界溫度 ( °C ) | 178.43 | |
| 臨界溫度 ( psig ) | 686.719 | |
| 應用 | ||
1. 三氟甲烷是使用在氧化硅或氮化硅層的等離子蝕刻? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 2.? CHF3是一個低溫制冷劑,用于替換R22 | ||