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Halocarbon 41 - Methyl Fluoride - 一氟甲烷 - ( CH3F )
一氟甲烷_WECHEM_SH_MSDS.pdf 資料下載一氟甲烷在標準溫度和壓力下，無毒，液化的可燃性氣體。
| 規格 | ||
| 純度 , % | 99.99 | 99.995 |
| 氧氣 | ≤20? ppbv | ≤5? ppmv |
| 氮氣 | ≤70 ppbv | ≤20 ppmv |
| 二氧化碳 | ≤10 ppmv | |
| 一氧化碳 | ≤10 ppmv | |
| 甲烷 | ≤5 ppmv | |
| 水分 | ≤10 ppbv | ≤2 ppmv |
| 運輸 | ||
| DOT 運輸名稱 | 一氟甲烷 | |
| DOT 分類 | 2.1 | |
| DOT 標簽 | 可燃氣體 | |
| UN NO. | UN2810 | |
| CAS No. | 593-53-3 | |
| CGA/DISS/JIS | 350/724/W22-14L | |
| 運輸狀態 | 液化性氣體 | |
| 技術信息 | ||
| 鋼瓶狀況 @ 21.1°C? | 液體 | |
| 在空氣中的燃燒極限 | ||
| 自然溫度 (°C ) | -18 | |
| 分子量 (g/mol) | 34.03 | |
| 比重 ( 空氣 =1) | 1.18 | |
| 臨界溫度 ( °C ) | 45 | |
| 臨界溫度 ( psig ) | ||
| 應用 | ||
| 在半導體制造中，一氟甲烷是硅化合物薄膜的等離子刻蝕氣體。 | ||