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聚焦于高純氣體，穩定同位素，金屬化合物和高純化學品等化工新材料的供應和銷售
1,3-Hexafluorobutadiene-六氟丁二烯-(C4F6)
六氟-1,3-丁二烯_WECHEM_SH_MSDS.pdf 資料下載在標準環境溫度和壓力下，六氟丁二烯是一種無色無味的液化氣體
| 規格 | |
| 純度，% | 99.9 |
| 氬氣 + 氧氣 | ≤10 ppmv |
| 氮氣 | ≤40 ppmv |
| 二氧化碳 | ≤20 ppmv |
| 一氧化碳 | ≤7 ppmv |
| 其他氟碳 | ≤700 ppmv |
| 氟化氫? | ≤10 ppmv |
| 運輸 | |
| DOT 運輸名稱 | 液化性氣體，有毒 ，可燃 |
| DOT 分類 | 2.1 , 2.3 |
| DOT 標簽 | 液化性氣體，有毒 ，可燃 |
| UN NO. | UN 3160 |
| CAS No. | 685-63-21 |
| CGA/DISS | 638 |
| 運輸狀態 | 液化性氣體 |
| 技術信息 | |
| 鋼瓶狀況 @ 21.1°C? | 液體 |
| 在空氣中的燃燒極限 | |
| 自然溫度 (°C ) | |
| 分子量 (g/mol) | 162.03 |
| 比重 ( 空氣 =1) | |
| 臨界溫度 ( °C ) | 139.6 |
| 臨界溫度 ( psig ) | |
| 應用 | |
| 在LSI生產過程中所需要的下一代核心材料，用于最大限度地減少電路線寬度和深度。該干蝕刻氣體用在微接觸孔的蝕刻制程。對于基于CxFy化學公式的特殊氣體，F/C 值越小，生產的CF2 基團越多。與C2F6 C3F8 相比，C4F6 的F/C 比值更小，產生的CF2 基團更多，這反過來，蝕刻氧化膜更多。因此，C4F6具有對氧化膜更高的選擇性，并允許更均勻的蝕刻。 | |