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聚焦于高純氣體，穩定同位素，金屬化合物和高純化學品等化工新材料的供應和銷售
Phosphine - 磷烷 - ( PH3 )
磷烷_WECHEM_SH_MSDS.pdf 資料下載磷化氫是一種劇毒，易燃，無色有類似腐爛的魚類的惡臭氣體。氣味是主觀的，因此不可靠的，不應被作為是檢測否存在氣體的標準?？勺匀?，作為液化性氣體運輸。
| 規格 | |||
| 純度，% | 99.6 | 99.9997 | 99.9999 |
| 氧氣 | ≤ 1 ppmw? | ≤0.1 ppmv? | ≤0.1 ppmv? |
| 氫氣 | ≤?0.4% | ||
| 氮氣 | ≤1.0 ppmv? | ≤0.1 ppmv? | |
| 二氧化碳 | ≤0.1 ppmv? | ≤0.1 ppmv? | |
| 一氧化碳 | ≤0.1 ppmv? | ≤0.05 ppmv? | |
| 甲烷 | ≤0.1 ppmv? | ≤0.1 ppmv? | |
| 水分 | ≤1.0 ppmv? | ≤0.1 ppmv? | |
| 氬氣 | ≤0.1 ppmv? | ||
| 砷烷 | ≤0.05 ppmv? | ||
| 鍺烷 | ≤0.05 ppmv? | ||
| 硫化氫 | ≤0.05 ppmv? | ||
| 硅烷 | ≤0.05 ppmv? | ||
| 運輸 | |||
| DOT 運輸名稱 | 磷烷 | ||
| DOT 分類 | 2.3 | ||
| DOT 標簽 | 有毒， 可燃氣體 | ||
| UN NO. | UN 2199 | ||
| CAS No. | 7803-51-2 | ||
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CGA/DISS/JIS/BS341 /DIN477 |
350/632/W22-14L/NO.4/NO.1 | ||
| 運輸狀態 | 液化性氣體 | ||
| 技術信息 | |||
| 鋼瓶狀況 @ 21.1°C? | 液體 | ||
| 在空氣中的燃燒極限 | 1.6-98% | ||
| 自然溫度 (°C ) | 40 | ||
| 分子量 (g/mol) | 33.998 | ||
| 比重 ( 空氣 =1) | 1.17 | ||
| 臨界溫度 ( °C ) | 51.6 | ||
| 臨界溫度 ( psig ) | 933.2 | ||
| 應用 | |||
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1. 在半導體制造中，作為n型摻雜劑 2. 在半導體制造中，外延硅的制程 3. 在半導體制造中，晶源上選擇區域的摻雜。 4. 在半導體制造，用于摻雜多晶硅的互連或某些電容 5. 在半導體制造中，用于形成硼磷硅玻璃 6. 在半導體制造中，離子注入。 | |||