業(yè)務(wù)領(lǐng)域
聚焦于高純氣體，穩(wěn)定同位素，金屬化合物和高純化學(xué)品等化工新材料的供應(yīng)和銷售
Silane - 硅烷 - ( SiH4 ）
SiH4_WECHEM_SH_MSDS.pdf 資料下載硅烷是一種無色，可燃性氣體，有類似于乙酸的氣味。（數(shù)據(jù)表明，硅烷不是在所有的情況下都會(huì)自燃）。
| 規(guī)格 | |
| 純度，% | 99.9999 |
| 氧氣+ 氬氣 | ≤0.06 ppmv? |
| 氮?dú)?/td> | ≤0.5 ppmv? |
| 二氧化碳 | ≤0.05 ppmv? |
| 氫氣 | ≤20.0 ppmv? |
| 一氧化碳 | ≤0.08 ppmv? |
| 水分 | ≤0.5 ppmv? |
| 甲烷 | ≤0.04 ppmv? |
| 氦氣 | ≤1.0ppmv? |
| 碳?xì)?Sum of C2-C4) | ≤0.1 ppmv? |
| 總氯硅烷 | ≤0.1 ppmv? |
| 乙硅烷 | ≤0.5 ppmv? |
| 二硅氧烷 | ≤0.05 ppmv? |
| 電阻率，N型 ( ohm-cm) | >2500 |
| 運(yùn)輸 | |
| DOT 運(yùn)輸名稱 | 硅烷 |
| DOT 分類 | 2.1 |
| DOT 標(biāo)簽 | 可燃?xì)怏w |
| UN NO. | UN 2203 |
| CAS No. | 7803-62-5 |
| CGA/DISS/JIS/BS341/DIN477 | 350/632/W22-14L/NO.3/NO.1 |
| 運(yùn)輸狀態(tài) | 壓縮性氣體 |
| 技術(shù)信息 | |
| 鋼瓶狀況 @ 21.1°C? | 氣體 |
| 在空氣中的燃燒極限 | 1.37-97% |
| 自然溫度 (°C ) | -50 |
| 分子量 (g/mol) | 32.117 |
| 比重 ( 空氣 =1) | 1.11 |
| 臨界溫度 ( °C ) | 3.45 |
| 臨界溫度 ( psig ) | 687.8 |
| 應(yīng)用 | |
| 主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、FTF-LCD 、太陽能電池片及節(jié)能玻璃之化學(xué)氣相沉積（CVD )薄膜制程。在半導(dǎo)體上的用途是以Si 為主的成膜，而在TFT-LCD 上則用于玻璃基板上的非晶硅成膜，另用于太陽能電池片則是形成抗反射膜以提高發(fā)電效率。 | |