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聚焦于高純氣體，穩定同位素，金屬化合物和高純化學品等化工新材料的供應和銷售
Silicon Tetrachloride-四氯化硅-SICL4
SiCl4_WECHEM_SH_MSDS.pdf 資料下載四氯化硅是一種具有腐蝕性，無色，不可燃體，具有窒息性氣味。蒸氣會刺激粘膜，暴露于潮濕的空氣中會形成致密的煙霧。在潮濕的空氣中迅速水解，釋放的氯化氫。
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| 規格 | |
| 純度，% | 99.94 |
| 電阻率 | ?≥ 300 ohm-cm |
| 硼 | ≤ 0.3 ppba silicon? |
| 鋁 | ≤ 50 ppbw |
| 碳 | ≤ 1.0 ppma? |
| 鐵 | ≤ 50? ppbw |
| 其他氯硅烷 | ≤ 600 ppm |
| 運輸 | |
| DOT 運輸名稱 | 四氯化硅 |
| DOT 分類 | 8 ( 腐蝕材料) |
| DOT 標簽 | 腐蝕 |
| UN NO. | UN 1818? |
| CAS No. | 1026-04-7 |
| 運輸狀態 | 液化性氣體 |
| 技術信息 | |
| 鋼瓶狀況 @ 21.1°C? | 液體 |
| 在空氣中的燃燒極限 | 不可燃 |
| 自然溫度 (°C ) | - |
| 分子量 (g/mol) | 169.89 |
| 比重 ( 空氣 =1) | 5.889 |
| 臨界溫度 ( °C ) | 233.85 |
| 臨界溫度 ( psig ) | 529.05 |
| 應用 | |
| 1. 在半導體制造中，外延硅的應用。 2. 在半導體制造中，金屬等離子體的蝕刻。 3. 在有機硅工藝。 4. 熔融石英纖維的制造。 | |
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