業(yè)務(wù)領(lǐng)域
聚焦于高純氣體,穩(wěn)定同位素,金屬化合物和高純化學(xué)品等化工新材料的供應(yīng)和銷售
Trichlorosilane - 三氯氫硅 - SiHCl3, TCS
三氯氫硅是一種具有腐蝕性,無(wú)色,易燃液體,有窒息性氣味。蒸氣會(huì)刺激粘膜,當(dāng)暴露于潮濕的空氣中會(huì)形成密集的煙霧在潮濕的空氣中迅速水解,形成氯化氫。用特殊的不銹鋼鋼瓶充裝,這種鋼瓶可以提供氣態(tài)也可以提供液態(tài)的三氯氫硅。
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規(guī)格 | |
純度,% | 99.95 |
電阻率 | ?≥ 300 ohm-cm |
硼 | ≤ 0.1 ppba silicon? |
碳 | ≤ 5 ppma |
鐵 | ≤ 5 ppba |
其他氯硅烷 | ≤ 500 ppm |
運(yùn)輸 | |
DOT 運(yùn)輸名稱 | 三氯氫硅 |
DOT 分類 | 4.3 |
DOT 標(biāo)簽 | 可燃液體,腐蝕 |
UN NO. | UN 1295 |
CAS No. | 10025-78-2 |
技術(shù)信息 | |
鋼瓶狀況 @ 21.1°C? | 液體 |
在空氣中的燃燒極限 | 7-83% |
自然溫度 (°C ) | 182 |
分子量 (g/mol) | 135.45 |
比重 ( 空氣 =1) | 4.67 |
臨界溫度 ( °C ) | 242.5 |
臨界溫度 ( psig ) | |
應(yīng)用 | |
1. 在有機(jī)硅化學(xué)反應(yīng) 2. 在半導(dǎo)體制造:硅的外延沉積。 | |
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