業務領域
聚焦于高純氣體，穩定同位素，金屬化合物和高純化學品等化工新材料的供應和銷售
Electronic Grade phosphorus oxychloride-電子級三氯氧磷-POCl3
| 一、分子式：POCl3 | ||||||||
| 二、分子量：153.35 | ||||||||
| 三、理化性質: | ||||||||
| 無色透明揮發性液體，具有強烈的刺激性氣味。易水解于潮濕的空氣中，生成磷酸和鹽酸。熔點為1.25℃，沸點為102℃，相對密度為1.675。蒸發熱33.7kJ/mol。接近300℃時，仍很穩定。遇到大量水時會發生爆炸。有毒性和腐蝕性。 | ||||||||
| 四、用途: | ||||||||
| 主要用于芯片的N型摻雜，是制作集成電路、太陽能電池、光纖預制棒、分離器件等的液態磷源，是芯片制程中必須的電子化學品，同時電子級三氯氧磷也是制作高純磷酸酯的原料。 | ||||||||
| 五、質量指標: | ||||||||
| 分析項目 | 技術指標（ppb） | 分析項目 | 技術指標（ppb） | |||||
| 6N | 7N | 6N | 7N | |||||
| As,max | 30 | 6 | Mg,max | 20 | 5 | |||
| Ba,max | 20 | 1 | Mn,max | 30 | 1 | |||
| Ca,max | 30 | 5 | Ni,max | 20 | 1 | |||
| Co,max | 20 | 1 | Pb,max | 10 | 3 | |||
| Cu,max | 20 | 2 | Sr,max | 5 | 1 | |||
| Cr,max | 20 | 1 | Ti,max | 5 | 2 | |||
| Fe,max | 40 | 5 | Zn,max | 5 | 1 | |||
| Al,max | 40 | 5 | K,max | 30 | 3 | |||
| Ag,max | 1 | 1 | Li,max | 10 | 6 | |||
| Au,max | 1 | 1 | Na,max | 10 | 5 | |||
| Bi,max | 10 | 1 | Nb,max | 2 | 1 | |||
| Ga,max | 1 | 1 | Sn,max | 5 | 1 | |||
| Hg,max | 10 | 5 | 含量,min | 99.90% | 99.90% | |||
| 色度,max | 5 | 5 | 顆粒物,Size,#/ml | ≥0.3um, 50max | ≥0.3um, 50max | |||
| 六、包裝 | ||||||||
| 容? 器：石英玻璃源瓶或內襯PFA材料鋼桶。 | ||||||||
| 外包裝：容器外套厚質PVC塑料袋；PE塑料專用箱內置海綿緩沖墊。 | ||||||||
| 規? 格：400ml、1000ml、1500ml、20L，也可以根據用戶的要求進行包裝。?? | ||||||||