業(yè)務(wù)領(lǐng)域
聚焦于高純氣體，穩(wěn)定同位素，金屬化合物和高純化學(xué)品等化工新材料的供應(yīng)和銷售
Electronic Grade Ethyl Silicate-正硅酸四乙酯/TEOS-C8H20O4Si
| 名稱 | 正硅酸四乙酯(TEOS) | ||
| 化學(xué)式 | C8H20O4Si | ||
| 相對分子量 | 208.33 | ||
| CAS號 | 28767 | ||
| 理化性質(zhì) | 無色透明液體，熔點(diǎn)－77℃，沸點(diǎn)168.5℃，密度0.9346g/ml。在空氣中較穩(wěn)定；微溶于水，在純水中水解緩慢；在酸或堿的存在下能加速水解作用。 | ||
| 主要用途 | 主要用于晶圓制造過程中的化學(xué)氣相沉積（CVD）制程，用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半導(dǎo)體、分立器件、微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）制造所需的電子化學(xué)品。 | ||
| 典型應(yīng)用 | |||
| CVD類型 | 材料 | ||
| APCVD | TEOS,O3 | ||
| LPCVD | TEOS | ||
| PECVD | TEOS,O2 | ||
| 產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn) | |||
| 項(xiàng)目Item | 標(biāo)準(zhǔn)值Standard Value | 項(xiàng)目Item | 標(biāo)準(zhǔn)值Standard Value |
| 純? 度 | 99.999999% (8N) | 鈮（Nb）max | 0.1ppb |
| 鋁（Al）max | 0.2ppb | 鎳（Ni）max | 0.2ppb |
| 銀（Ag）max | 0.1ppb | 鉛（Pb）max | 0.1ppb |
| 砷（As）max | 0.4ppb | 銻（Sb）max | 0.1ppb |
| 金（Au）max | 0.1ppb | 錫（Sn）max | 0.2ppb |
| 硼 （B）max | 0.5ppb | 鍶（Sr）max | 0.1ppb |
| 鋇（Ba）max | 0.1ppb | 釷（Th）max | 0.1ppb |
| 鈹（Be）max | 0.1ppb | 鈦（Ti）max | 0.1ppb |
| 鉍（Bi）max | 0.1ppb | 鈾（U ）max | 0.1ppb |
| 鈣（Ca）max | 0.5ppb | 釩（V ）max | 0.1ppb |
| 鎘（Cd）max | 0.1ppb | 鎢（W ）max | 0.1ppb |
| 鈷（Co）max | 0.4ppb | 鋅（Zn）max | 0.2ppb |
| 銅（Cu）max | 0.2ppb | 鋯（Zr）max | 0.1ppb |
| 鉻（Cr）max | 0.2ppb | Cl-???? max | 0.5 ppm |
| 鐵（Fe）max | 0.2ppb | 水份??? max | 5 ppm |
| 鎵（Ga）max | 0.4ppb | 乙醇含量 max | 3 ppm |
| 汞（Hg）max | 0.3ppb | 顆粒數(shù)≥0.2μm max | 30 p/ml |
| 鉀（ K）max | 0.2ppb | 顆粒數(shù)≥0.3μm max | 20 p/ml |
| 鋰（Li）max | 0.1ppb | 顆粒數(shù)≥0.5μm max | 10 p/ml |
| 鎂（Mg）max | 0.5ppb | 顆粒數(shù)≥1.0μm max | ?3 p/ml |
| 錳（Mn）max | 0.1ppb | 色度 | ＜10APHA |
| 鉬（Mo）max | 0.1ppb | 外觀 | 無色透明液體 |
| 鈉（Na）max | 0.5ppb | 保質(zhì)期 | 24個月 |
| 包裝方法 | 316L不銹鋼瓶，外裝不銹鋼柜。 | ||