繼三星電子(三星)之后,世界第二大存儲芯片制造商SkHynix與韓國特種天然氣制造商TIM聯合開發了該行業的首個氖氣氣體回收技術。

在半導體制造業中使用該技術時,可以降低購買氖氣的成本,每年為400億克朗(約合3000萬美元)。

由于神經元能夠產生穩定的放電,因此它是芯片生產光刻中的準分子或紫外線激光器所必不可少的。

在這些激光器中,氖氣起著緩沖氣體的作用,確保了激光發射波長的穩定性,這是光刻過程中用于芯片制造所需的蝕刻精確圖案的關鍵。

對于像kksHynix、三星、英特爾和tsmc這樣的制造商來說,氖氣通常來自烏克蘭、俄羅斯和中國等國。

全世界約45%至54%的半導體級氖氣來自烏克蘭。近年來,由于俄羅斯和烏克蘭之間持續不斷的沖突繼續擾亂國際供應鏈,氖氣價格一直在飆升。

天然氣的進口價格從2021年的每升58美元上升到2022年的1612美元。

2022年,skkHynix公司宣布,在芯片生產中,它已經將本地供應的氖氣的使用率提高到了40%,這標志著韓國芯片制造商首次采購本地的氖氣氣體。

當時,該公司表示,它打算到2024年100%使用當地生產的氖氣氣體。

SKHynix并不是唯一一家尋找氖氣替代采購渠道的芯片制造商。今年早些時候,三星宣布從2025年起將在芯片制造中使用回收的氖氣氣體。

據英國國際發展集團表示,芯片巨頭將從激光廢物流中捕獲氖氣氣體,而當地合作伙伴將凈化回收的氖氣。?

在光刻過程中使用后,氖氣通常會被芯片制造商發射到空氣中。為了回收氣體,合作伙伴將使用洗滌器來捕捉氖氣氣體,然后在光刻后將其收集在一個水箱中。

然后,這些氣體被有選擇地分離和提純,使用TEM的氣體處理工藝,然后被供應給KKHynix用于半導體制造。

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該公司透露,其氖氣回收率為72.7%,盡管它計劃通過提高凈化率將回收率提高到77%。

該公司的一位發言人說:"通過與其在各自領域擁有專業知識的材料和設備合作伙伴的密切合作和協同作用,SkHynix能夠開發這種技術。

該技術的開發由韓國科學院碳管理委員會的一個小組委員會領導。物料回收署負責確保非化學改性物料的回收技術?

到2025年,該公司的目標是開發總共10種原材料的回收技術,包括氖氣、氫和氦氣體。

在發布了促進回收材料使用的中長期路線圖之后,kkHynix計劃到2025年將產品中使用的回收材料比例提高到25%,到2030年提高到30%以上。

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